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【48812】天岳先进请求专利完成压力操控器密封圈的主动磨合修正过程高效快捷
发布时间:2024-08-09 09:29:35 作者: im电竞官网入口app下载
金融界 2024 年 7 月 20 日音讯,天眼查知识产权信息数据显现,山东天岳先进科技股份有限公司请求一项名为“一种长晶炉压力操控器主动修正体系及办法“,公开号 CN8.2,请求日期为 2024 年 3 月。
专利摘要显现,本发明供给一种长晶炉压力操控器主动修正体系及办法,归于碳化硅成长及外延技术领域,所述体系包含工控计算机、操控扩展模块、截止阀、真空泵和压力操控器接口;操控扩展模块与工控计算机、截止阀、真空泵均衔接;工控计算机还与压力操控器接口衔接;截止阀一端与大气连通,另一端经过榜首气体管路与压力操控器接口衔接,压力操控器经过第二气体管路与真空泵衔接;榜首气体管路上设有压力传感器,压力传感器与压力操控器接口衔接;压力操控器接口衔接有压力操控器;工控计算机向压力操控器发送磨合指令,并在磨合指令完成后验证压力操控器的密封性,进行压力操控器参数装备修正。
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